将激光脉冲聚焦在滚筒筛沙机碳化硅晶圆内部

作者：添加时间：2021/10/11 9:20:09 浏览次数：

图6金刚石切割4.采用超快激光对碳化硅晶圆隐切碳化硅晶圆隐切工艺采用了安扬公司皮秒脉冲激光配合聚焦物镜，将激光脉冲聚焦在滚筒筛沙机碳化硅晶圆内部。采用这种隐切方式对晶圆加工时，激光聚焦在的碳化硅晶圆内部的高强度激光使碳化硅材料发生局部熔融，由于熔融状态下的碳化硅密度较结晶时高，所以在碳化硅熔融区会留下一些小的真空孔隙。